您好,欢迎访问三亿体育官方入口官网

搜索
确认
取消
CATEGROIES
产品分类
浏览量:
1000

IntelliFab工艺流程编辑器

结合材料、版图创建器件的工艺流程,并可输出到FabSim模块生成三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。 ◆ 完整的MEMS工艺流程,包括沉积、光刻、刻蚀、键合、电镀等工艺。用户可添加自有工艺; ◆ 支持标准MEMS工艺,如MUMPS, SCREAM, SUMMIT, LIGA, Bosch Surface Micromachining等。 ◆ 用户可创建自有工艺; ◆ 图形化的硅和石英等材料的各向异性湿法刻蚀速率展示与调节工具 ◆ 支持SOI材料,支持电阻率与方块电阻参数同步; ◆ 支持输出Excel格式工艺流程单 ◆ 结合FabSim模拟工艺流程生成的器件的三维模型; ◆ 结合TEM分析对器件的影响,实现更精确的多物理场模拟;
零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
产品编号
数量
-
+
库存:
0
所属分类
返回列表
1
产品描述
参数
技术参数表
系统组网
标准选配件
应用领域

结合材料、版图创建器件的工艺流程,并可输出到FabSim模块生成三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。

◆ 完整的MEMS工艺流程,包括沉积、光刻、刻蚀、键合、电镀等工艺。用户可添加自有工艺;

◆ 支持标准MEMS工艺,如MUMPS, SCREAM, SUMMIT, LIGA, Bosch Surface Micromachining等。

◆ 用户可创建自有工艺;

◆ 图形化的硅和石英等材料的各向异性湿法刻蚀速率展示与调节工具

◆ 支持SOI材料,支持电阻率与方块电阻参数同步;

◆ 支持输出Excel格式工艺流程单

◆ 结合FabSim模拟工艺流程生成的器件的三维模型;

◆ 结合TEM分析对器件的影响,实现更精确的多物理场模拟;

 

三亿体育官方入口

 

1IntelliFAB™   - 流程编辑器

IntelliSuite自下而上的设计是以流程设计为基础。熟悉的工艺步骤,如光刻、薄膜沉积和选择性蚀刻,构成了最终器件几何形状的基础。

使用IntelliFABTM可以使用户在进入CleanRoom之前进行流程调试和版图优化。它使您能够快速创建精确的虚拟模型,并且可以防止流程错误带来的损失。

 

 

 

IntelliFAB – Process simulation

·Feature highlights

·Virtual prototyping

·Process validation

·Process databases

·Foundry ready templates

·Design - process integration

·Team collaboration

 

三亿体育官方入口

 

 

三亿体育官方入口

 

IntelliFab: Setup complex process flow

 

三亿体育官方入口

 

1.Process Editor for MEMS

IntelliFAB makes editing and organizing a process table quick and easy. Setup your virtual process traveller exactly as you would for a real foundry.

2.Group, section, organize

Grouping common sets of processes into process subsets makes the organizing a complex traveler easy. You can group your process flow in any which way you please: by material, by process type or by process option.

3.Process Pane

Enter process parameters,tolerances and visualization settings in a single consolidated pane

4.Filter with ease

Filtering tools allow you to quickly focus on the processes that you want to explore

 

三亿体育官方入口

 

Export process traveler

 

三亿体育官方入口
 
 
11
 
 
111
 
 
 
工艺流程结果可以导出为多种格式,包括带有每个流程步骤幻灯片的Microsoft PowerPoint(完整的三维视图或任何所需的横截面)
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加

结合材料、版图创建器件的工艺流程,并可输出到FabSim模块生成三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。

◆ 完整的MEMS工艺流程,包括沉积、光刻、刻蚀、键合、电镀等工艺。用户可添加自有工艺;

◆ 支持标准MEMS工艺,如MUMPS, SCREAM, SUMMIT, LIGA, Bosch Surface Micromachining等。

◆ 用户可创建自有工艺;

◆ 图形化的硅和石英等材料的各向异性湿法刻蚀速率展示与调节工具

◆ 支持SOI材料,支持电阻率与方块电阻参数同步;

◆ 支持输出Excel格式工艺流程单

◆ 结合FabSim模拟工艺流程生成的器件的三维模型;

◆ 结合TEM分析对器件的影响,实现更精确的多物理场模拟;

相关软件

产品咨询

如果您对我们的产品有任何兴趣,欢迎随时给我们留下您的意向信息

描述:
11
相关应用
暂时没有内容信息显示
请先在网站后台添加数据记录。

了解英特神斯如何帮助你?

邮箱:china@intellisense.com

地址:江苏省南京市江北新区丽新路19号

二维码

Copyright © 2022 三亿体育官方入口  版权所有.  苏ICP备08107867号   网站建设:中企动力 南京  SEO